上海浦东新区临港自贸区是我国重要的外资企业工业基地之一,拥有众多优秀的半导体企业,工业气体需求大。专门的工业气体供应商为半导体企业提供高品质的气体产品和服务,为当地经济发展做出了重要贡献。
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长。
电子气体,多采用集中式供应,可分为大宗气体,包括氮气、氢气、氩气、氦气、氧气、二氧化碳等;电子特种气体,包括笑气、氨气、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、八氟环丁烷、甲烷等气体。
电子气体按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。
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