高纯氮气,常况下是一种无色无味无嗅的气体,且通常无毒。氮气占大气总量的78.12%(体积分数),是空气的主要成份。常温下为气体,在标准大气压下,冷却至-195.8℃时,变成没有颜色的液体,冷却至-209.86℃时,液态氮变成雪状的固体。氮气的化学性质很稳定,常温下很难跟其他物质发生反应,但在高温、高能量条件下可与某些物质发生化学变化,用来制取对人类有用的新物质。
高纯氮气主要用途:化肥、氨、硝酸等化合物的制造,惰性保护介质,速冻食品、低温粉碎等的制冷剂、冷却剂,电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等,还用作标准气、零点气、平衡气等。
高纯氮气纯度指标参考:
项目 | 指标纯度% | |||
高纯氮气(N2) | 99.999 | 99.9997 | 99.9999 | |
杂质含量(ppm) | 氧(O2) | ≤3 | ≤0.5 | ≤0.2 |
氢(H2) | ≤1 | ≤1 | ≤0.5 | |
水份(H2O) | ≤5 | ≤0.5 | ≤0.2 | |
二氧化碳(CO2) | ≤3 | ≤0.5 | ≤0.1 | |
一氧化碳(CO) | ≤0.5 | ≤0.5 | ||
甲烷(CH4) | ≤0.2 | ≤0.1 |
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