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浅谈电子行业特种气体

工业中,把常温常压下呈气态的产品统称为工业气体产品。根据制备方式和应用领域的不同,工业气体可分为大宗气体和特种气体,大宗气体主要包括氧、氮、氩等空分气体及乙炔、氢气二氧化碳等合成气体;特种气体主要包括电子特种气体、高纯气体和标准气体等。特种气体用量虽小,但对纯度、杂质含量等指标有较高要求,经济价值较高。电子特种气体(即电子特气)又主要包括惰性气体,硅族气体,卤化物或卤化物气体,含硼、磷、砷等原子的气体,以及氟碳气体,种类繁多。

电子特气在集成电路、显示面板、化合物半导体器件等电子工业生产中是不可或缺的原材料。根据华经产业研究院的统计2020年中国电子特气应用市场结构,集成电路制造占比最高,约占总体电子特气市场的44%。显示面板领域占比约35%,太阳能电池领域占比约13%,LED及其他领域占比约8%。随着半导体行业的快速发展,电子特气的种类、数量仍在不断增加。

电子气体广泛应用于半导体制程工艺,电子大宗气体通常用于气体稀释、腔体清洁、腔体排气等环节。不同类型的电子特气根据不同的物理化学性质应用于不同的工艺环节,包括沉积、光刻、刻蚀、扩散、退火等关键工序。可以说,电子气体几乎用于集成电路制造的每一个环节,是集成电路制造的血液。

电子气体的生产过程包括分析检测、合成、提纯、充装、混合配比等多个工艺流程。为了满足下游半导体制造的纯度和杂质含量要求,提纯工艺非常重要,根据上游合成气或原料气组成,进行低温精馏或多级纯化。

在气体制备过程中,需要同时满足高洁净度、高密封性、高稳定可靠性的要求。洁净度方面,上游合成制备属于化工生产过程,无特殊洁净度要求,气体经过提纯后,进行气体冲入和混合制备需要满足下游集成电路制造工艺的标准规范。密封性方面,由于具有化学活性,电子气体,尤其是电子特气在生产过程中对系统材料与半导体制造要求保持一致,防止引入杂质或气体腐蚀引起泄漏、污染等危害。稳定可靠性方面,电子特气的品质指标包括纯度、杂质颗粒含量等,指标的任何变化都会影响下游半导体制造的结果。因此,为保证电子特气产品的一致性,对气体制备工艺系统的控制指标稳定性要求也非常重要。

在气体经过化学反应或经过物理提纯后,充装至钢瓶、储罐等容器后销售给下游客户。

半导体工业中使用的气体统称为电子气体。它可以分为三类:纯气体、纯气体和半导体特殊材料气体。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺;高纯度气体主要用作稀释气体和载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。根据纯度和用途,电子气体可分为电子级、LSI(大规模集成电路)级、VLSI(超大规模集成电路)和ULSI(超大规模电路)级。

优质电子气体是集成电路、光电子、微电子技术发展不可或缺的基础材料,特别是在VLSI、LCD器件、半导体灯和半导体材料的制造过程中。它被称为电子行业的“血液”和“谷物”。其纯度和清洁度直接影响光电子和微电子元件的质量、集成度、特定技术指标和产量,并从根本上限制了电路和器件的准确性和准确性。

上海松江申中工业气体公司依托先进的科技之源,严格的科学管理态度,以独特的管理理念和经营思路,促进企业的发展。公司主要经营各种常规气体:干冰氧气氮气氩气氦气氢气甲烷、丙烷等瓶装压缩气体和溶解乙炔,液氧、液氮、液氩等深冷液化气体。其中特种气体广泛应用于航天、电子、光纤通讯、机械制造、食品、医疗等众多领域,可为稀有行业及特种行业等高端制造客户提供新选择。

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