
详解氩气在半导体行业中的多重用途
在半导体行业中,氩气主要用于作为保护气体防止氧化,以及作为等离子气体参与蚀刻和沉积反应。具体来说,氩气可用于光刻过程中的清洗和干燥,确保芯片表面无尘;在芯片制造中作为载体推动原料气体,保证化学反应稳定;此外,氩气还用于制备超纯水及作为屏蔽气...

在半导体行业中,氩气主要用于作为保护气体防止氧化,以及作为等离子气体参与蚀刻和沉积反应。具体来说,氩气可用于光刻过程中的清洗和干燥,确保芯片表面无尘;在芯片制造中作为载体推动原料气体,保证化学反应稳定;此外,氩气还用于制备超纯水及作为屏蔽气...

在半导体行业中,氩气(Ar)作为一种关键工业气体,因其独特的物理和化学性质,在多个制造环节中发挥着不可替代的作用。以下是氩气在半导体行业中的主要应用及作用: 1. 作为保护气体,防止氧化和污染 高温工艺保护:在半导体制造的高温工艺(如退火、...