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特种气体

特种气体相关知识介绍

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特种气体是用途有别于一般气体的气体,是一个笼统的概念。它在纯度、品种、性能方面 都是严格按照一定规格进行生产和使用的。 一般认为,特种气体是由电子气体、高纯石油化工气体和标准混合气体所组成。另外,在半导体制造业中,气体还可以分为大宗气体和电...