标签：氩氢混合气泄漏会爆炸吗

2026-02-04zhaods阅读(1062)赞(0)

在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一步都离不开电子气体。例如芯片刻蚀，就需要氟碳类气体作为刻蚀气体，同时在这个过程中通常也会加入氩气和氦气，氩气用于物理刻蚀，氦气质量小一点，作为稀释剂用于稀释刻蚀气体浓度，从...