
特种气体在芯片制造过程中有什么作用
单来说,特种气体贯穿了芯片制造的前道工艺(芯片成型)和后道工艺(封装测试)的几乎所有关键环节。它们主要起以下几类作用: 1. 形成微观结构:化学气相沉积 (CVD) 这是特种气体最核心的用途之一。 作用:在晶圆表面通过化学反应,生长或沉积一...

单来说,特种气体贯穿了芯片制造的前道工艺(芯片成型)和后道工艺(封装测试)的几乎所有关键环节。它们主要起以下几类作用: 1. 形成微观结构:化学气相沉积 (CVD) 这是特种气体最核心的用途之一。 作用:在晶圆表面通过化学反应,生长或沉积一...