乙烯、乙炔和丙烯的热解炭的沉积速率
乙烯、乙炔和丙烯三种气体在950°热解时,热解炭化学气相沉积的速率随着气体浓度的变化关系。当气体浓度较小时,热解炭沉积速率与乙炔、丙烯的浓度成2次方关系,与乙烯的浓度成3次方关系。随着浓度的升高,热解炭的沉积速率服从饱和吸附生长模式。因此,...
乙烯、乙炔和丙烯三种气体在950°热解时,热解炭化学气相沉积的速率随着气体浓度的变化关系。当气体浓度较小时,热解炭沉积速率与乙炔、丙烯的浓度成2次方关系,与乙烯的浓度成3次方关系。随着浓度的升高,热解炭的沉积速率服从饱和吸附生长模式。因此,...